技術處前身為科技顧問室，係民國六十八年依據「科學技術發展方案」，為提升產業技術水準，研訂「經濟部科技顧問室設置條例」而設立，嗣於民國八十二年根據本部組織法第二十一條之規定而改制為「技術處」。

技術處主要任務係運用科技專案之執行，加速推動產業價值創造，突破產業技術創新前瞻格局。技術處組織架構包括科技顧問室及6個科別。各單位主要主管事項如下：

科技顧問室
為本處智庫幕僚，以Top-Down方式引領產業技術研發，規劃長程發展議題，將協助召開科技顧問會議、提供產業技術發展策略意見、提供產業技術發展資源配置意見、提供專業議題建言、襄助科技專案規劃及執行檢討、督導產業創新園區業務。

 科技管理科
辦理人力資源管理、產業人才培訓、總務財產管理、研發替代役業務、採購業務管理、法人科專管理、法人績效考評、財團法人管理、新聞公關及國會聯絡等相關業務。

 科專政策科
辦理科專政策研擬、研考業務、資源規劃、會計業務、科技法規、課題研究、國際合作推動等相關業務。

 創新研發科
辦理產業創新園區規劃及推動、創新研發中心推動、價值創造計畫推動、科應與服務業科專計畫推動、服務型科專(工研院)、RFID公領域計畫推動等相關業務。

 電資通光科
辦理電子、光電、資訊、通訊等領域策略規劃與推動、產業電子化政策研究、大業科專推動、創新前瞻計畫推動等相關業務。

 機電運輸科
辦理機械、航太、車輛、船舶、自動化、能源資源等領域策略規劃與推動、SBIR科專推動等相關業務。

 生醫材化科
辦理藥品、醫材、食品及生技等領域策略規劃與推動、化工、紡織領域策略規劃與推動、材料、鞋技、塑膠、印刷領域策略規劃與推動、學界科專計畫推動等相關業務。